石墨舟装片房

产品详情

 石墨舟装片房

产品说明

本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套，装去硅片，配制高效过滤器，空气通过高效过滤器后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度。

主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；
② 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
③ 采用高效空气过滤器；
④ 净化风机噪音小于50dB；
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;