基片尺寸	直径 4英寸 X 12片 直径 18英寸 X 3片
样品台	直接冷却
离子源	20cm 考夫曼离子源
电源	WELL-5100(可更换为国内电源

上海伯东是日本NS离子蚀刻机中国总代理，NS 离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技术，很容易做各种材料的蚀刻，主要应用于薄膜磁头 (Thin film Magnetic Head)，自旋电子学 (Spintronics)，MR Sencer，微电子机械系统 (MEMS Micro-electromechanical Systems)，射频设备 (RF Devices)，光学组件 (Optical Component)，超导电性 (Super Conductivity)等。可依据客户实际需要，提供客制化服务。

NS离子蚀刻机主要优点：

• 干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
• 物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。
• 配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。
• 射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。
• 基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。
• 配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
• 机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。