专注于：磁控溅射镀膜设备、提供金属/复合金属涂层加工服务

产品详情

纯源镀膜专注于：磁控溅射技术的开发与升级，实现设备持久稳定、性价比极优、售后服务完善的体系。

设备参数：

• 设备介绍：IS系列镀膜机是采用本公司成熟的技术：高能离子束清洗（Ionbeam Cleaning）+磁控溅射源（Magnetron Sputtering ），设备采用全自动化控制，模块化集成优化，设备功率高、稳定性能好、操作简单且维护方便。为满足不同的镀膜需求，腔室内可设计配置平面圆形靶、条形靶和圆柱靶等多种靶材，可获得致密度高、均匀性能好的多层复合膜，包括各种金属、半导体、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷薄膜等；适合研发及批量镀膜服务。

• 设备特点：

      1. 特有的技术，特殊设计的磁场及工艺气路，有效提升靶材利用率以及长期工艺稳定性；

      2. 模块化通用接口，直接兼容不同形式阴极靶材，允许直流脉冲、中频、射频工作模式；兼容性强

      3.  自主设计的全自动智能化工艺操作系统，提供全面、便捷的工艺配方编辑及调用能力，配备实时工艺参数监控系统，允许在线远程控制。

• 应用范围：

  1.可镀Cu、 Au、Cr、Ni、Ta、TiN、TiC、 TiCN、TiAlN、 CrN、 DLC等金属、非金属以及氧化物膜层；

  2.可用于液晶显示、硬质耐磨、太阳能电池、材料保护和防腐、建筑物玻璃、光学和装饰膜层、磁光信息存储、铁磁材料等各个领域；