| 产品名称 | 扩散炉-立式扩散炉-氧化扩散炉 晨立电子 |
|---|---|
| 公司名称 | 青岛晨立电子有限公司 |
| 价格 | 60000.00/台 |
| 规格参数 | 品牌:晨立 型号:CL4512 产地:青岛 |
| 公司地址 | 山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园 |
| 联系电话 | 0532-88533525 13869885308 |
扩散炉
设备主要技术指标：
1. 外型形式：单管立式，加热
2. 硅片尺寸：156*156方片/准方片
3. 工作温度范围：400-1200℃
4. 恒温区长度：≥300mm，单次可装载10片156*156方形硅片，背靠背装片模式，配石英舟
5. 恒温区精度：±0.5℃/300mm
6. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
7. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换，温控系统采用进口温控仪，温度、流按工艺自动调节
8. 扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
9 尾气处理：设备配备尾气处理系统，采用溶液吸收发吸收尾气中的有害成分
10.冷却系统：设备配有冷水系统，用于保护密封装置及冷却加热器外壳
11. 报警及保护：超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护