电子束光刻胶PMMA

产品名称 电子束光刻胶PMMA
公司名称 厦门良厦贸易有限公司
价格 .00/件
规格参数
公司地址 中国(福建)自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号(注册地址)
联系电话 0592-6013840 15396145919

产品详情

类型

光刻胶型号

适用光谱厚度范围/um分辨率适用工艺

电子束光刻胶

HSQXR-1541-006

EB

85nm~180nm

6nm

分辨率负胶,抗刻蚀

Z520

0.05-1

10-50nm

高分辨率电子束正胶,抗刻蚀

PMMA

电子束正胶

EBL 6000系列

0.1-0.5

50nm

负性电子束光刻胶

ma-N2400系列

0.1-1.5

30nm

负性电子束光刻胶

纳米压印胶

mr-NIL 6000E

热固化和UV固化

0.1-1

50nm

可用于纳米图形的制造、刻蚀、多层系统等

mr-I 9000M

热固化

0.1-1

50nm

mr-UVCur21

UV固化

0.1-5

50nm

光固化胶

Ormo系列

g/h/i-Line

0.1-300

50nm

适用于制造光栅、微型镜片、光耦合器和连接器等