电子束光刻胶 AR-P 617 (Copolymer PMMA/MAar-p-672.02

产品名称 电子束光刻胶 AR-P 617 (Copolymer PMMA/MAar-p-672.02
公司名称 厦门良厦贸易有限公司
价格 .00/件
规格参数
公司地址 中国(福建)自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号(注册地址)
联系电话 0592-6013840 15396145919

产品详情

特点:


用于高分辨率电子束曝光、单层/多层lift-off工艺等

感光波段:e-beam、deep UV(248nm)

高分辨率(< 10nm),高灵敏度(PMMA灵敏度的3~4倍)


旋涂曲线:


617 - 副本.png


应用实例:


617.jpg