半导体晶圆翘曲度测试 三维表面测量 第三方全尺寸测量机构

产品名称 半导体晶圆翘曲度测试 三维表面测量 第三方全尺寸测量机构
公司名称 质海检测技术(深圳)有限公司
价格 .00/件
规格参数 品牌:QTL质海检测
检测认证:第三方检测机构
服务类型:检测报告,检测认证
公司地址 深圳市宝安区新桥街道黄埔社区黄埔东环路408-1号101
联系电话 18923798009 18923798009

产品详情


光学轮廓仪高效测量半导体晶圆翘曲度

以白光干涉技术为原理的SuperViewW1光学轮廓仪,专用于超精密加工领域,其分辨率可达0.1nm。非接触高精密光学测量方式,不会划伤甚至破坏工件,不仅能进行更高精度测量,在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度,能保留完整的晶圆片表面形貌。测量工序效率高,直接在屏幕上了解当前晶圆翘曲度、平面度、平整度的数据。


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