英国Ossila显微镜载玻片紫外线臭氧清洁机L2002A3-UK

产品名称 英国Ossila显微镜载玻片紫外线臭氧清洁机L2002A3-UK
公司名称 深圳市嘉士达精密仪器有限公司
价格 .00/件
规格参数 品牌:Ossila
型号:L2002A3-UK
作用:紫外线臭氧清洁机
公司地址 西乡街道臣田社区宝民二路东方雅苑A100
联系电话 4006608810 18820263964

产品详情

英国Ossila显微镜载玻片紫外线臭氧清洁机L2002A3-UK

Ossila紫外线臭氧清洁能够在几分钟内去除基材和样品表面的污染物,提供超清洁表面。使用高功率紫外线光源产生臭氧并分解有机表面污染物,该程序可以产生接近原子级清洁的表面,而不会对样品造成任何损坏。由表面污染物产生的挥发性化合物会迅速蒸发,使样品为下一部分实验做好准备。

 

紫外线臭氧清洁是如何工作的?

紫外线臭氧清洁依赖于高强度紫外线光源的使用,该光源用两种特定波长的光照射待清洁的表面。通常使用低压汞蒸气放电灯,如Ossila紫外线臭氧清洁中的合成石英紫外线格栅灯,其在184nm和254nm处具有两个主要发射峰。在照射时,存在于空气中的分子氧通过长度低于200nm的辐射而离解。这导致形成两个氧自由基。这些自由基继续与进一步的分子氧反应,形成臭氧分子。

 

同时,使用254nm的光来激发存在于样品表面上的有机物种。这个过程增加了污染物与臭氧的反应性。反应后,材料从表面上被清除。

 

尽管单元本身占地面积很小,但照明面积很大。托盘可容纳直径高达153mm(6英寸)的晶片,这允许清洁各种样品,包括:

显微镜载玻片

6英寸晶圆

AFMjianduan

划片基质

培养皿

建议的最大基板厚度为12mm

 

技术规范

紫外线规格灯具规格

灯型低压汞放电灯

灯具尺寸150 mm x 15 mm(长x直径)

灯具数量4

放电峰值185nm和254nm

灯寿命T80寿命2000小时

样品辐照度规范

样品在185nm处的紫外线强度为15mW·cm-2

清洁区域直径153 mm(6英寸)

曝光时间1秒至60分钟;数字控制