国标标准:GB/T 34085《电子工业用气体 三氟甲烷》测试

产品名称 国标标准:GB/T 34085《电子工业用气体 三氟甲烷》测试
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国家标准编号实施日期
GB/T 34085-2017电子工业用气体 三氟甲烷2017/11/1

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

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