产品名称 | 国标标准:GB/T 34085《电子工业用气体 三氟甲烷》测试 |
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公司名称 | 深圳市实测通技术服务有限公司 |
价格 | .00/件 |
规格参数 | 测试周期:5-7天 寄样地址:深圳宝安 价格费用:电话详谈 |
公司地址 | 深圳市罗湖区翠竹街道翠宁社区太宁路145号二单元705 |
联系电话 | 17324413130 17324413130 |
国家标准编号 | 国家标准名称 | 实施日期 |
GB/T 34085-2017 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | 2017/11/1 |
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
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