晶圆盒存储柜 Stocker

产品详情

晶圆盒存储柜 Stocker主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型STK，实现空间的极大化。根据客户需求，可支持带净化功能。