二氧化硅片

产品名称 二氧化硅片
公司名称 浙江立晶硅材料有限公司
价格 面议
规格参数
公司地址 浙江省衢州市工业园区内
联系电话 0570-6018760 13735050004

产品详情

2-6英寸二氧化硅(SiO2)抛光硅片参数规格

 

生长方式:  直拉  CZ   

氧化方式:热氧化制备

      型号:  N/磷、砷、锑    P/硼  (掺杂元素)    

    晶向:  111/100

    电阻:  0.001-25Ω·cm(电阻范围可选、也可按照客户需要订制

    厚度:  250-600(厚度范围可选、也可按照客户需要订制

氧化层厚度:50nm-1000nm(氧化层厚度范围可选、也可按照客户需要订制

 

平整度TIR:<3μm

弯曲度Bow:  <15μm

翘曲度TTV:  <15μm

粗糙度nm :  <0.5nm

库存现有厚度:需订制

盒装硅片 : 25片装(镀铝箔真空包装)

上述概括了此产品参数,对产品有其它厚度或者参数要求请与本公司详谈!