半导体洁净室特气管道加热夹克广东光伏管道加热包法兰江苏保温套heating jacke

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由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的常用工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不彻底，同时提高生产成本。加装昌利电加热夹克后可以使管路处于恒温状态，管路堵塞情况迎刃而解，降低生产成本的同时也有效的保护

好排气管路。降低了维修成本也减少了安全风险。