紫外激光划片机

产品名称 紫外激光划片机
公司名称 首昂光电(上海)有限公司
价格 499999.00/台
规格参数
公司地址 上海市奉贤区广丰路1110号
联系电话 13681672788

产品详情

紫外激光划片机

产品介绍:

本产品是半导体晶圆芯片的激光划片切割专用设备。具有激光功率稳定、光束模式好、峰值功率高、低成 本、安全、稳定、操作简单等特点。

技术参数

                                  可切割范围                         英寸                4寸,预留5寸升级空间

                                  移动量解析度                      um                                  0.1

X轴                             单步步进量                         um                                   1

                                  可移动范围                         mm                               150

Y轴                             移动量解析度                      um                                 0.1

                                  单步步进量                          um                                   1

                                  定位精度                            mm                          0.005以内/120

                                  重复精度                             um                                   1

θ轴                             旋转速度                            RPM                               120

                              *小旋转分辨率                       deg                             0.0005

                                  可移动范围                         mm                                 10

Z轴(千分尺旋钮型)  *小读数                            um                                  10

划片速度                     双台面                               mm/s                               60


应用范围

对FPC软板切割钻孔、PCB电路板分板切割、指纹识别芯片切割、半导体切割等。