泰州市粉末SEM结构分析测试、光谱分析测试

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1 什么是扫描电子显微

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope ，缩写 为SEM），简称扫描电镜，是利用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分 析仪器。

2 SEM的发展

2.1 SEM的发展历史1935年提出扫描电子显微镜的设计思想。

1942年在实验室制成第一台扫描电子显微镜。

1965年在英国诞生了第一台实用化的商品扫描电子显微镜， 表明扫描电子显微镜具有广泛的应用价值。

1965年以后是扫描电子显微镜的精细化发展阶段。

1968年场发射扫描电子显微镜研发成功，极大提高了扫描电 子显微镜的分辨率。

2002年日本日立公司推出S-4800型高分辨场发射扫描电子 显微镜（FESEM）。

SEM基本结构及原理

1 电子束与样品表面的作用

弹性散射：电子束的能量不损失，只改变方向，如背散射电子。

非弹性散射：入射电子熟不进改变方向，也改变能量。包括二次电子，俄歇电子，特征X射线，荧光。