| 产品名称 | 氧化钇 氟氧化钇 氟化钇 YOF Y5O4F7 YF3 Y2O3 喷涂粉 |
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| 公司名称 | 福建联合新材料科技有限公司 |
| 价格 | .00/个 |
| 规格参数 | |
| 公司地址 | 福建省福州市晋安区鼓山镇福新东路478号盛丰大厦21层西侧01室 |
| 联系电话 | 0591-88080795 17605914593 |
作为半导体制造设备内部的保护性涂层，半导体干蚀设备内部暴于高反应性卤素或氧系电浆。
若非耐电浆材料元件(如，石英玻璃、氧化铝和阳极化的铝)以原本状态使用，则会发生表面腐蚀而伴随着生成粒子，其造成半导体上之微观电路的缺陷。
因此，于半导体制造设备之待外露的表面提供用以赋予抵御电浆的耐蚀性和保护设备之元件的保护性涂层。
此保护性涂层之一是对于种类繁多的电浆展现耐蚀性的氟氧化钇。
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