激光扫描共焦显微镜

主要特点1.二维形态图像获取（2-d morphologic）2.三维形态图像获取（3-d morphologic）3.三维轮廓与地形图像（3-d profile,3-d topography）4.可进行亚微米级线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚测量5.非破坏性，非接触，无须制样，无须真空，快速直观参数 1. 激光光源Zui高分辨率可达120纳米2.聚焦Zui小步进/Zui大行程：10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米3.无须复杂的制样过程，样品无须镀膜导电处理，观察时无须真空，可放置重样品（10kg）4.激光安全等级：class 25.图像感应装置光电倍增管