激光扫描共焦显微镜
信息编号:96702 浏览:100次产品详细介绍
主要特点1.二维形态图像获取(2-d morphologic)2.三维形态图像获取(3-d
morphologic)3.三维轮廓与地形图像(3-d profile,3-d
topography)4.可进行亚微米级线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚测量5.非破坏性,非接触,无须制样,无须真空,快速直观参数
1. 激光光源Zui高分辨率可达120纳米2.聚焦Zui小步进/Zui大行程:10纳米(scale resolution of 0.005
mm)/100毫米3.无须复杂的制样过程,样品无须镀膜导电处理,观察时无须真空,可放置重样品(10kg)4.激光安全等级:class
25.图像感应装置光电倍增管