日本住友2"LED蓝宝石衬底
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- 种类
- 化合物半导体
- 特性
- 高纯度单晶Al2O3
- 用途
- LED
- 所在地
- 浦东新区高桥镇杨高北路528号18幢一层5024室
- 联系电话
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产品详细介绍
种类 | 化合物半导体 | 特性 | 高纯度单晶Al2O3 |
用途 | LED |
日本住友化工2英寸蓝宝石衬底技术参数
项目 | 规格 |
直径 | 50.8+-0.05 |
定位边长 | 16.0+-1.0 |
厚度 | 430+-10um |
晶向 |
c轴(0001)0.2°+-0.05° |
总厚度偏差 | <=5um |
翘曲度 | +-7um |
定位边方向 | a轴(11-20)0.0°+-0.20° |
表面粗糙度 | <=0.3nm |
背面粗糙度 | 0.7+-0.2um |
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