干泵，无油真空泵，无油干泵，爪泵，爪式干泵

本系列产品是一种新型的变容式干式机械真空泵，泵腔内无任何润滑油，四对断面相同的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限赤轮把它们连接并调整到使它们相互不接触，有一定的间隙。泵工作时，泵腔容积不断地周期性地发生变化，又大到小和由小到大，这样利用气体通道的启闭作用实现抽气作用，整泵采用拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的连续工作Zui大入口压力为5000pa，可直排大气。

清洁抽空，对环境无污染；在流程腔内，部件间无内部接触，无油气污染；抽除能力强、工作平稳、噪声低；维护成本低；作为罗茨泵、分子泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵的前级泵配套，可组成清洁的无油中真空和无油高真空机组。