吸收白石基片窑炉特点,适合国内基片工艺。 具有较宽的工艺适应性,同时兼容不同规格基片。 排胶烧成工艺一次完成。 采用高温循环风机,形成气体动力排胶。5×5英寸基片合格率98%。 进口高温段耐火材料。 排胶气体烧净系统,窑炉环保,适用于现代工业企业。 全自动液压推进循环系统,plc控制。 硅钼棒平均寿命10个月以上。 上位计算机dcs温度控制管理系统。
型 号
炉膛尺寸mm
工作温度℃
炉温均匀性℃
升温功率kw
恒温功率kw
推进速度mm/h
温区
推板尺寸mm
ygtj-17-260
330b/320h/23000l
1700测温环
±3
260
150
560可调
18
260b/270l/35h