小型离子泵 - 中国销量

上海三井真空设备有限公司是中国Zui大的离子泵生产商,约占70%市场份额。目前国内几个大型科学实验装置使用的离子泵几乎都由三井真空供应。如中科院高能物理研究所（ihep）北京正负电子对撞机(bepc)、中科院兰州重离子加速器、上海光源、上海光机所神光高功率激光装置等。

溅射离子泵能方便获得10-8pa的低压强，无运动机构和振动，运行非常稳定，是获得洁净超高真空的主泵。广泛应用于加速器、表面物理、电子显微镜、宇宙模拟、大功率激光研究、真空电子器件等领域。

优点：
1、极限真空非常高，可达5e-11torr；5、寿命长，在1×10-7托工作寿命可达30年；

2、没有工作液，不污染系统； 6、不用真空计可知真空度；
3、无振动、无噪声；7、不用检漏仪可对系统进行检漏。
4、工作压强范围宽（1×10-4-1×10-11托）；

三极泵与二极泵的应用：

三极泵对惰性气体的抽速比二极式大30%。以下情况建议使用三极溅射离子泵：
1、 不断有惰性气体进入真空系统；
2、 在大型真空系统中离子泵与升华泵或吸气剂泵结合使用。