SAES吸气剂泵 SAES

吸气剂泵是什么？

¨吸气剂泵是一种化学吸附泵，能够吸收各种活性气体（如：氢气、水、氧气、二氧化碳、一氧化碳、氮气）。

¨吸气剂泵吸附气体的机理：吸气剂材料与活性气体发生化学反应，生成低蒸气压的固体化合物，从而性地去除真空系

统中的各种活性气体。

¨氢气是通过溶解到吸气剂体内形成固溶体。

¨吸气剂泵不抽除惰性气体。

吸气剂泵的特性

¨对活性气体（氢气、水、氧气、二氧化碳、一氧化碳、

氮气）的高抽速和高吸气容量；

¨不抽除惰性气体；

¨常温下不吸收甲烷气体；

¨对气体的抽速不受从高真空到极限真空范围内压力变化

的影响；

¨无震动、重量轻、非常紧凑；

¨经激活后，吸气剂泵工作时无需电源；

¨没有电磁场干扰；

¨无低压限制。

吸气剂泵的操作
¨不同于钛升华泵，吸气剂泵不需要蒸发吸气材料。
¨但是，吸气剂泵需要被激活（在动态真空下被加热）：
　 a) 激活温度：350-500 摄氏度
　 b) 激活时间：30-60 分钟
¨经激活后，吸气剂泵在常温下吸收气体无需电源。
¨如果气载较高，吸气剂泵也可以选择工作在较高的温度条件下（如：200-300摄氏度）。
¨当吸气容量饱和后（或真空腔室暴露大气后），吸气剂泵需要重新激活。这种反复激活可以进行至少50次。

吸气剂泵可以单独使用，同时也可以与离子泵、低温泵或涡轮分子泵组合使用。与其他类型真空泵组合使用时，吸气剂泵能带来如下的优势：

¨更高效地抽氢

¨获得更好的极限真空

¨缩短抽气时间

¨减少烘烤时间（吸气剂泵是唯一能够直接安装在真空腔室的真空泵）