品牌 | CRF诚峰智造 | 型号 | CRF-VPO |
用途 | 等离子去胶 | 别名 | 等离子打胶 清洗 |
CRF-VPO等离子去胶机主要技术参数
1、使用电源:三相四线380v50hz,功耗2.6kw。
2、反应室结构:圆筒形反应室,多层平板电极,反应室尺寸φ200mm×500mm。
3、装片量:2” -56块 。
4、射频电源:13.56mhz
5、配用真空泵:2x-8
6、去胶工作时真空度: 15-28pa。
7、去胶速率:大于50nm/min。
8、时间控制:小于99分钟。
9、气路系统:3路。
10、外型尺寸:长1250mm×宽800mm×高1350mm
11、整机重量:196kg。
12、配用真空泵重量:160kg。