氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测
阀门在众多化工行业中有着重要地位,是装置中用量较多的设备。通过阀门的控制,可以将气体和液体介质按照生产需要进行调节或阻断。化工生产中的阀门可以分为两大类:通用阀门和阀门。通用阀门包括:减压阀、蝶阀、球阀、闸阀、截止阀、止回阀、安全阀等等;阀门则包括各种装置中所使用的滑阀、高温蝶阀、四通切换阀、堵焦阀、高温裂解平板闸阀、低温阀、固体阀门、高温高压角式截止阀和节流阀等。
阀门检漏仪,阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气,在被检测处如阀杆等,用氦质谱检漏仪正压法(吸枪法)检测。向阀门内打压缩空气放入水中冒微小气泡的泄漏如下图,用氦质谱检漏仪吸枪法测出的泄漏率3.510E-3Pa.m3/s,吸枪法检测的精度可充分满足气密性检测要求。
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