技术参数:
型号
function plus
行程(mm)
x轴
1500
y轴
2100
z轴
1200
结构型式
单边高架 “l” shape
传动方式
直流伺服系统+ 预载荷高精度空气轴承
光栅尺
开放式光栅尺
机 台
高精度花岗岩平台
整机尺寸(mm)
3326 x 2280 x 3822
机台承重(kg)
3000
整机重量(kg)
8800
长度测量Zui大允许示值误差
mpee= 5.0+l/300
Zui大允许探测误差
mpep=4.5
注:环境要求