P-821-A9系列玻璃浮子流量计
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- 供应商
- 东精计装（漳州）仪器仪表有限公司 商铺
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- 品牌
- TOKYOKEISO东京计装
- 型号
- P-821
- 类型
- 面积式流量计
- 所在地
- 中国 福建 漳州市 金峰开发区北斗福星工业厂房14号
- 联系电话
- 86 596 2672901
- 联系人
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产品详细介绍
| 品牌 | TOKYO KEISO 东京计装 | 型号 | P-821 |
| 类型 | 面积式流量计 | 测量范围 | 16.667~166.67（m3/h） |
| 精度等级 | ±5％(F.S.) | 适用介质 | 气体(空气) |
| 工作压力 | 0.8（MPa） | 工作温度 | 80（℃） |
概要
Zui适于半导体生产过程中各种气体的测量。
体型小，广泛应用于半导体生产装置的中心设备。
标准规格
测量对象： 气体（空气）
测量范围： 参照下表
有効刻度范围： 10比1（部分10比2）
流量指示精度：±5％（f.s.）
Zui大使用压力：0.8mpa*
Zui高使用温度： 80°c
标准材料： 参照下表
标准材料
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部品名 |
标准材料 |
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本体 |
scs14 |
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锥形管 |
耐热玻璃 |
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浮子 |
sus316,玻璃,红宝石 |
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垫圈 |
氟橡胶 |
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阀门轴 |
sus316 |
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阀门配件 |
sus316 |
|
阀门 |
sus316 |
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侧板 |
spcc |
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挡板 |
丙烯树脂 |
p-821系列标准产品规格表
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产品编号 |
流体规格 |
制作条件 |
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流体 |
流量范围 |
流量单位 |
阀门位置 |
规格 |
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p-821-a9 |
air |
1～10 |
l/min（nor） |
下 |
1atm、20℃ |
*标准现货测试压力为0.7mpa
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