石英坩埚 常规和异形 石英

目前国内供半导体生产用的石英玻璃产品，就其纯度而言，大体分为两个品种，一个是以天然水晶为原料熔制而成的 产品，它的杂志含量（指al、fe、ca、mg、ti、ni、cu、co、mn、b、k、na、li等十三种杂志元素的总和）一般均在50ppm以下，另 一种是用高纯合成原料（如sicl4等）经高温水解熔制而成的产品，它的化学纯度很高，十三个杂质元素的总含量一般均不超过2ppm，但它的价格昂贵，Zui 大的缺点是软化点较水晶制品低80度左右，用它制造的坩埚和扩散管在使用过程中容易变形。为了满足半导体工业对石英玻璃产品质量的需要，充分利用水晶制品 成本低，软化点高，和合成石英纯度高的特点，我们研制成功了〈高纯合成石英涂层石英玻璃产品〉，它是在水晶制石英玻璃的内壁用高温喷涂的工艺方法，涂上一 层高纯合成石英玻璃。如此制得的产品同时具有两种石英玻璃产品的优点。