石英管等离子体装置 台达
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- 上海东茂电子科技有限公司 商铺
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- 品牌
- 台达
- 型号
- 0
- 所在地
- 上海市国定路335号3025室（注册地址）
- 联系电话
- 086 0571 63590739
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产品详细介绍
| 品牌 | 台达 | 型号 | 0 |
技术参数及特性
1.反应室工作压强：几百帕～十千帕
2.反应室极限压强:6×10－1帕
3.反应室尺寸：φ50mm
4.微波功率：0～500w
5.基片温控：200～1000℃
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