中图仪器光学3D表面轮廓仪

SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其光源模式保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

系统软件为简体中文操作系统，操作方便。

中图仪器光学3D表面轮廓仪功能：

1．行业领域和应用对象

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

2．软件功能

(1)  提供多种数据处理方式。

提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；

提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；

提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。

(2)  提供多种分析工具。

提供距离、台阶高度等要素测量；

提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；

提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；

提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；

提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；

提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；

提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数，参见参数表：

(3)  可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。

(4)  多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。

(5)  内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户指定的分析项目组合起来，避免重复操作。

(6)  便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。

(7)  拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

中图仪器光学3D表面轮廓仪技术指标：

注：粗糙度性能参数依据ISO 25178国ji标准在实验室环境下测量Ra为0.2nm硅晶片Ra参数获得；

台阶高性能参数依据ISO 25178国ji标准在实验室环境下测量4.7µm台阶高标准块获得。