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FSI清洗机PARTS

更新时间:2017-03-06 21:32:10 信息编号:5050896 发布者IP:122.200.91.178 浏览:570次
供应商
中苇电子科技(上海)有限公司 商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
9
主体名称:
中苇电子科技(上海)有限公司
组织机构代码:
91310109MA1G52KE8X
报价
请来电询价
品牌
FSI
型号
FSIPARTS
关键词
FSI清洗机PARTS|FSI清洗机drain阀|FSI清洗机盖板气缸
所在地
上海市虹口区海宁路137号7层E座744I室
联系电话
021-31300381
手机号
17091315559
销售
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产品详细介绍

 供应FSI清洗机零件

FSI Part # 04-18868  Stainless High Pressure Bellows Valve, 3/8 in.  
FSI Part # 04-09805  Stainless Reducer, 1/2 in. OD - 3/8 in. OD 
FSI Part # 04-08588-001  PTFE Hose Assy,1/4".Tube Adapt OD,3/16", 12"LG 
FSI Part # 04-07737  Wafergard Filter, F-40 
FSI Part # 04-03423  PTFE PRESSURE REGULATOR 
FSI Part # 04-03564  PFA 1/4" GRIP 3WAY VALVE 
FSI Part # 04-01301  VISI-FLOAT Flowmeter 200 SCFH Air 
FSI Part # 04-19104-001  Brooks SHO-RATE Liquid Flowmeter 
FSI Part # 04-09250  Dwyer Flowmeter 50 GPH Water 
FSI Part # 04-11739-001  Flowmeter 32c.c./min. liquid SP.GR. 1.0 
FSI Part # 04-11776  Flowmeter 10 c.c/min. X 1000 
FSI Part # 04-08931  Flowmeter 60 GPH Water 
FSI Part # 04-23649-001  Flowmeter 700ml/min water 
FSI Part # 04-27201-001  Flowmeter 5.0 GPM Water 
FSI Part # 04-04389  Rate-Master Flowmeter 100 SCFH Air 
FSI Part # 05-09773  Liquid Flow Sensor 10C 
FSI Part # 04-27509-00  70mi. Source Reservoir 
FSI Part # 05-29712-001  Power Line Filter 
FSI Part # 05-29029-001 A  Cannister Level Sen.-HMDS Ctrl w/display 
FSI Part # 05-29029-001 B  Cannister Level Sen. Interface-HMDS Ctrl 
FSI Part # 04-06314-001  Cannister Level Sen. Interface-HMDS Ctrl 
FSI Part # 04-06145  Flowmeter 1000cc/min. 
FSI Part # 05-14099  Cannister Level Sensor-LG 
FSI Part # 05-26381-003  Liquid Flow Sensor 8G 
FSI Part # 04-04947  SHO-RATE Flowmeter 3 Channel 200mil/min 
FSI Part # 04-08901-001  SHO-RATE Flowmeter 2 chanel 200/1300 
FSI Part # 04-07854-001  SHO-RATE Flowmeter 3channel 470ml/min. 
FSI Part # 04-07143-003  SHO-RATE Flowmeter 2channel 200/470 
FSI Part # 04-05412  SHO-RATE Flowmeter 3channel 200ml/min. 
FSI Part # 04-21050-001  SHO-RATE Flowmeter 3chanel 470/470/400 
FSI Part # 05-27892-001  Cannister Level Sensor - SM 
FSI Part # 04-07807  Multi Flow Vacuum Transducer 
FSI Part # 02-26360-001  Wall Mount Type Signal Tower 
FSI Part # 04-15033  Twin Rod Cylinders HTDA-16mm 
FSI Part # 04-26065-001  Multi-Stage Vacuum Generator 
FSI Part # 04-07832  Teflon Liq. Regulator Valve 
FSI Part # 04-08588-004  PTFE Hose Assy,1/4".Tube Adapt OD ,48" LG 
FSI Part # 04-04940  Hose Connector, 3/16". ID, 1/8". MNPT 
FSI Part # 04-07524  Flowmeter 50 SCFH AIR  
FSI Part # 02-24970-001  Adjustable Pressure Switch 
FSI Part # 04-21012-001  Stainless 3-Piece Ball Valve, Seat PCTFE 
FSI Part # 04-28687-001  Stainless 3-Piece Ball Valve,FNPT, PTFE Seat 
FSI Part # 04-28909-001  Stainless 1-Piece Ball Val., 1/2" FNPT, Angle  
FSI Part # 04-27418-001  6V. Connector, 3 way valve 
FSI Part # 04-07140  Dash 1 Valves, 12VDC 0.6W 
FSI Part # 04-07541  PTFE 2 WAY VALVE 
FSI Part # 04-15034  Swich, Hall Effect Sensor, 118" 
FSI Part # 04-21049-001  SHO-RATE Flowmeter 3 Channel 200mil/min  
FSI Part # 04-02154  SHO-RATE Flowmeter 3 Channel 80mil/min 
FSI Part # 04-13731-001  SHO-RATE Flowmeter 3 Channel 

 

FSI清洗机介绍

FSI用途:FSI用于圆片的表面清洗系统,可以去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜;

FSI设备全称: MERCURY MP Surface Condition Division System, FSI公司早期的Spray System Product;

FSI工作原理:在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntable 上,在Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾化喷洒在圆片表面,有两个喷嘴:Spray post 和 Side-bowl spray post,达到去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的,然后用DI Water 冲洗圆片表面,Zui后通过Turntable的高速旋转(500 rpm)以及N2 Purge来使圆片的表面干燥。

FSI用到的原料:主要有5种Chemical:H2SO4,HCL,HF,NH4OH,H2O2;还有DI Water(去离子水)、 N2和CDA(压缩空气)。 FSI常用工艺菜单:B-CLEAN,S*P5/1,POLY-BCLN,BP-BCLN;  安全措施:设备的每个部分都安装有Interlock 开关,禁止工艺时打开门、盖子等组件,如果Interlock 开关被打开,则会使设备停机,工艺中断;警告:工艺时禁止对FSI清洗机的任何部分进行任何操作。

 
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所属分类:中国机械设备网 / 其他电子产品制造设备
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