凯尼KC&KTC型双级滑阀真空泵

 美国泰悉尔kinney凯尼KC&KTC型双级滑阀真空泵是机械式真空泵中可获得Zui低压力的泵，推荐应用于工作压力低于0.1Torr (0.13mbar)的工况。标准产品都配置可调节气镇阀，可以处理含水蒸气或其他蒸汽的介质。KC&KTC滑阀泵都是风冷系统，除了KTC-112滑阀泵是水冷系统(风冷系统可供选择)。主要应用于制冷系统排气、液态气体储存、制动液加液系统、低压化学气相沉积(LPCVD)，硅晶生长、泄漏检测等工艺。

产品特点：采用三联滑阀设计确保泵自身动态平衡；滑阀与泵腔之间充满了油且没有金属与金属间的接触；该系列双级滑阀泵特别可靠和经久耐用。