多晶炉波纹管 晶炉波纹管 波纹管材质
产品说明:
隔热框架升降结构通过提升基架安装在设备炉体上部,主要有伺服电机产生驱动力,减速机变速,通过齿轮箱动力转向,软轴连轴器传动,直线导轨连接件高精度 升降波纹管。这样使得提升杆的运动变成在真空内部的运动,从而将动密封转变为简单的静密封,提高了密封的可靠性、安全性、稳定性,真空保护性好,保证压升率指标,提高硅锭的质量。
技术指标:
1、真空漏率:1* 10-9Pa·L/S;
2、压缩比:80%;
3、使用寿命:100万次;
4、材质:SUS 316L。
用 途:主要用于晶体生长炉。