SEMITOOL甩干机气缸|甩干机定位气缸

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中苇电子科技（上海）有限公司是一家专业从事自动化控制行业，拥有强大的技术力量和完善的服务支持。目前在半导体行业纺织机械、印刷机械、医药包装机械、玻璃机械、焊接机械、机床行业、木工机械、供水、输送机械、试验机、冶金、煤矿、太阳能光伏、晶圆制造、及航天等领域均有成熟的应用案例和成套解决方案。并在蓝宝石，砷化镓，单晶硅等半导体行业涉及的工艺，半导体设备改造，洁净环境，纯水系统，环保，动力建设有着丰富的行业经验。

半导体设备事业部：主营SEMITOOL甩干机，内圆切片机，倒角机，抛光机，单晶炉，多晶炉，退火炉，充氧炉等半导体行业设备以及性能的二手设备。

行业设备售后部：主营半导体，机械，纺织等行业设备维修，翻新，改造，技术服务，技术咨询等业务。

电子备件部：主营变频器、PLC、人机界面、数控系统、伺服电机、变频电机、直线导轨、丝杠轴承、减速机、传感器、低压电器、仪器仪表、气动等产品，品种齐全、价格合理。目前是SANYO(三洋)、东方马达（ORIENTAL）、富士、台达、eview、步科、昆仑通泰、和泉、施耐德、三菱、日本岛电、天得、山河、希曼顿、安良等品牌的授权代理商，并且对各个品牌提供售后维修服务。

维修服务部：中苇维修中心提供专业伺服器维修,伺服驱动器维修,伺服放大器维修,伺服控制器维修,电路板维修,变频器维修,触摸屏维修,工控机维修,直流调速器维修,软启动器维修,光栅尺维修,照排机维修,电源模块维修,plc维修,编码器维修,电路板复制等维修项目。

中苇电子科技（上海）有限公司尊崇踏实、拼搏、责任的企业精神，并以诚信、共赢、开创经营理念，创造良好的企业环境，以全新的管理模式，完善的技术，周到的服务，卓越的品质为生存根本，我们始终坚持用户至上 用心服务于客户，坚持用自己的服务去打动客户。

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SEMITOOL产品中的SRD旋转冲洗甩干机是根据国际、国内半导体产业的发展和市场需求，研究开发的旋转冲洗甩干设备。该机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。本系列机型可以适应从φ25mm 到φ200mm直径（包括方形和其它特殊形状）片式材料的旋转冲洗甩干工艺。可用于半导体晶片、砷化镓材料、掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等类似材料的高洁净度冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主流设备之一。

SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机

描述：

SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机采用去离子水冲洗和加热的氮气干燥全自动晶片衬底后的湿化学方法。有两个双层干衣机和洁净室中一堆烘干机。该系统使用一个可编程的方法来自动处理晶圆。

规格/性能：

一种电阻率探针可监测浴中的化学浓度（称为“漂洗电阻率”），以确保完全去除化学品。

无点式干燥氮气加热器。

可编程的食谱包括漂洗，质量冲洗，清洗，和干燥周期。

支持样本量：

Zui大晶片直径：200毫米（8英寸）

晶圆直径：75毫米（3英寸），100毫米（4英寸），150毫米（6英寸），和200毫米（8英寸）。

掩模尺寸：125毫米（5英寸），150毫米（6英寸）。

支持的小片段：没有。

典型应用：

晶圆和掩模清洗和干燥。

二、解决方案

根据客户产品及要求，对SEMITOOL甩干机进行工装及载体设计，以及后期的工艺参数调整。为客户提供方案设计，模拟实验，现场应用等一体化技术服务。

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