Brooks GF100 GF120 GF125 MFC

      快速响应,可重复的交付过程气体和超高水平的高纯度的金属密封的性能gf100系列提供了质量流量控制器和米。用于半导体、金属和其它气体流量控制应用程序,gf100系列超过半导体行业标准的可靠性,确保可重复的、高稳定的性能。标准multiflotm技术使一个mfc支持成千上万的气体类型和范围组合没有删除它从天然气行或牺牲准确性。

       结果:提高过程的灵活性和效率结合行业的Zui高水平的过程气体纯度帮助Zui大化产量和生产力。

产品类型：mass flow controller

微分电路：高纯度

流量范围：3 sccm - 55 slm

表面光洁度：10µ 英寸 ra

度：±1% s.p. > 35-、±0.35% f.s. 2-35%

再现性：< ±0.15% s.p.

响应时间：normally closed  <1 sec

                    normally open  <1.5 sec 

诊断功能：状态灯:mfc健康&网络状态；警报:控制阀输出和网络中断

模拟通信：0-5 vdc

数字通信：rs485 l协议、devicenet™