微波等离子清洗机
更新时间：2016-08-31 11:20:21 信息编号：4795648 发布者IP：101.69.225.198 浏览：63次
产品详细介绍
Q240微波等离子清洗机工艺参数：
材质：石英玻璃
容积：21公升
腔体尺寸：直径240mm，深度460mm
腔体后部：铝
腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；
气体分布：前门扩散
观察视窗：防紫外及微波
支撑架：铝质材料，
真空连接：DN40 ISO-KF
压力控制：Pirani，1-100Pa
真空泵：推荐35m3/h
真空阀：电子气动阀，DN40 ISO-KF
真空密封：硅树脂
气体供应：
气体通道：3路数字MFC，装有电磁阀，1000/500/200sccm（N2校准），1/4"
Swagelok接头
卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头
功率：2.45GHz，50-1200W连续可调
耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极
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商品地址www.chem17.com/st312447/erlist_1175203.html
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