Semitool SRD,SEMITOOL甩干机
更新时间:2016-11-28 14:03:53 信息编号:4522862 发布者IP:120.52.24.49 浏览:1107次- 供应商
- 中苇电子科技(上海)有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第9年主体名称:中苇电子科技(上海)有限公司组织机构代码:91310109MA1G52KE8X
- 报价
- 人民币¥1000.00元每台
- 品牌
- semitool
- 型号
- 870s
- 控制系统
- PSC-101
- 关键词
- SEMITOOL甩干机,OEM甩干机,Semitool SRD备件,PSC-101控制器
- 所在地
- 上海市虹口区海宁路137号7层E座744I室
- 联系电话
- 021-31300381
- 手机号
- 17091315559
- 销售
- 赵先生 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
中苇电子科技有限公司供应SEMITOOL SRD甩干机,semitool原装备件配件供应商,semitool密封门,semitool窗口,semitool door ,SEMITOOL定位气缸, psc-101控制器,LC-5 LC-4驱动器,semitool转子
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SEMITOOL产品中的SRD旋转冲洗甩干机是根据国际、国内半导体产业的发展和市场需求,研究开发的旋转冲洗甩干设备。该机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。本系列机型可以适应从φ25mm 到φ200mm直径(包括方形和其它特殊形状)片式材料的旋转冲洗甩干工艺。可用于半导体晶片、砷化镓材料、掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等类似材料的高洁净度冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主流设备之一。
SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机
描述:
SEMITOOL psc-101旋转清洗干燥机采用去离子水冲洗和加热的氮气干燥全自动晶片衬底后的湿化学方法。有两个双层干衣机和洁净室中一堆烘干机。该系统使用一个可编程的方法来自动处理晶圆。
规格/性能:
一种电阻率探针可监测浴中的化学浓度(称为“漂洗电阻率”),以确保完全去除化学品。
无点式干燥氮气加热器。
可编程的食谱包括漂洗,质量冲洗,清洗,和干燥周期。
支持样本量:
Zui大晶片直径:200毫米(8英寸)
晶圆直径:75毫米(3英寸),100毫米(4英寸),150毫米(6英寸),和200毫米(8英寸)。
掩模尺寸:125毫米(5英寸),150毫米(6英寸)。
支持的小片段:没有。
典型应用:
晶圆和掩模清洗和干燥。
一、主要达到的技术性能指标
1.电源及电气控制安全性技术要求
1.1 电压:AC220V/110V
1.2 频率:50Hz±1Hz
1.3 功率:3kW
1.4 整机绝缘电阻大于2MΩ(用1000V兆欧表测)
1.5 各功能开关、按键、安全互锁功能、紧急开关应使用灵活、动作可靠。
1.6 设备表面平整、光滑、色调一致。设备内、外各种安全、警告标志齐全。
1.7 在设备接地标志处可靠接地。
2.使用氮气的相关安全性技术要求
2.1 使用氮气压力: 0.23~0.28MPa(Max)
2.2 使用氮气耗量: 200~280L/min (单腔)
2.3 氮气接口管径: OD 3/8 英寸(红色标记)
2.4 氮气过滤精度: ≤0.1μm(或按用户要求配置)
2.5 设备用氮气接入处减压阀位置应有明显禁调标志,严禁设备在高于氮气设定压力时操作运行。(提示用户按要求配置)
2.6 未经过洁净化处理的氮气管路严禁直接接入设备使用,避免对设备造成污染
3.去离子水的相关安全性技术要求
3.1 使用去离子水压力: 0.25~0.3MPa(推荐)
3.2 使用去离子水耗量: 8~12L/min (单腔)
3.3 去离子水接口管径: OD 3/8 英寸(蓝色标记)
3.4 设备排水口管径: OD 32mm(UPVC管)
3.5 未安装过滤器或未经过洁净化处理的去离子水管路严禁直接接入设备使用,避免对设备造成污染。
生产厂家 |
国产型 |
SEMITOOL |
VERTEQ |
型号 |
双腔型 |
STI-8700S |
1800-55M |
Zui大加工直径mm 工作腔数量(个) 旋转速度r/min 氮气过滤精度μm 电阻率监控 防静电控制 氮气密封 氮气烘干 腔体表面处理 驱动电机 管件 控制器 显示及程序
|
200 2 100-2600 0.003 有 有 有 有 电化学抛光 无刷电机 高纯管件 PLC可编程控制 彩色液晶汉显+99工艺菜单 |
200 2 300-2800 0.003 有 有 有 有 电化学抛光 无刷电机 高纯管件 单片微处理器 数码管 手动 |
200 2 300-2800 0.003 有 有 有 有 电化学抛光 无刷电机 高纯管件 PLC可编程控制 液晶+99种工艺菜单 |
二、解决方案
根据客户产品及要求,对SEMITOOL甩干机进行工装及载体设计,以及后期的工艺参数调整。为客户提供方案设计,模拟实验,现场应用等一体化技术服务。
- SEMITOOL PSC-101控制器备件维修1,000.00元/台
品牌:SEMITOOL - semitool密封门,semitool原装备件1,000.00元/个
品牌:semitool - Semitool SRD甩干机门锁定位气缸,备件500.00元/个
品牌:SEMITOOL - 奥林巴斯金相显微镜 OLYMPUS DIC等备件1,000.00元/台
品牌:奥林巴斯 - Speedfam上蜡机,抛光机,研磨机,喷嘴备件1,000.00元/台
品牌:Speedfam