美国MKSENI溅镀电源维修

上海佐度电子科技有限公司

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　　主要维修 ae( advanced energy) 、 eni （ mks ）等 rf 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为 eni/ae dc power & rf generator 提供维修维护服务。

ion beam drive ： id-3500 、 id-3501 、 it-2500 、 it-3500

　　dc( 直流系列 ) ：

mdx series: mdx 5 、 mdx 10 、 mdx 20 、 mdx 30 、 mdx-052 、 mdx 1k 、 mdx 1.5k 、 mdx 500 、 mdx delta ； mdx ii series: mdx ii 15kw(15-120kw) ； pinnacle series: pinnacle 6kw 、 pinnacle 12kw 、 pinnacle 10kw 、 pinnacle 20kw 、 pinnacle 8kw 、 pinnacle 15kw 、 pinnacle 3000 ； pinnacle plus+:pinnacle plus+ 5kw 、 pinnacle plus+ dual output 5kw 、 pinnacle plus+ 10kw ； diamond series: pinnacle diamond 8kw 、 pinnacle diamond 10kw 、 pinnacle diamond 15kw ； mdx-l series: mdx-l6 、 mdx-l 6kwhalo 、 mdx-l12 、 mdx-l 12m 、 mdx-l 12m 650 、 mdx-l18 ； sparc series: sparc-le 20 、 sparc-le v 、 sparc vs ； e'wave ； dc pulsing accessoires : dc pulsar

 

　　ac( 交流 / 中频系列 ) ：

pe: pe 1000 、 pe 2500 、 pe 3750 、 pe 5000 、 pe-10k 、 p e-20k 、 pe-30k 、 pe-1000sg ；   pe ii ： pe ii 5kw 、 pe ii 10kw 、 pe ii 60kw ； pdx ： pdx 500 、 pdx 900-2v 、 pdx 1250 、 pdx 1400 、 pdx 2500 、 pdx 5000 、 pdx 7.5k 、 pdx 8000 、 pdz 2200 、 msd 350w ； pdw 600 、 pdw 2200 ； pdp 2500 、 pdp 3500 ； pep 250 、 pep 2500 、 pep 5000 ； dressler lfgs:lfgs 1250a 、 lfgs:lfgs 1250b 、 lfgs:lfgs 1250c 、 lfgs:lfgs 1250d

 

　　rf ( 射频系列 ) ：

rfg ： rfg 80 、 rfg 1250 、 rfg 1250 halo 、 rfg 1251 、 rfg 3000 、 rfg 3001 、 rfg 5500 、 rfg 2k-2v 、 rfds 1250 、 rfds 1250-a 、 rfds 3000 、 rfds 2kw-2kv ；   apex ： apex 1513 、 apex 2027 、 apex 3013 、 apex 4027 、 apex 5513 、 apex 7kw/13 、 apex 10kw/13 、 apex 3513 、 apex 10013 、 apex 8013 、 atlas 2 、 atlas 1513 、 atlas 3013 、 atlas 2504 、 atlas 2027 、 atlas 2012 、 atlas 4012 、 atlas 5002 、 atlas 5012 、 atlas 5013 、 atlas 5027 、 rapid f ；   rfx ： rfx 600 、 rfx 600a 、 rfx 1250 、 rfx 2500 、 rfx 5500 、 rfg-azx ；   rfx ii ： rfx ii 1250 、 rfx ii 3000 、 rfx ii 5500 ；   hfg ： hfg 2500 、 hfg 5000 、 hfg 4m ；   hfv ： hfv-3k 、 hfv-5k 、 hfv-8k 、 hfv-l 3kw ；   ovation vhf:vhf-2760w 、 vhf-2060 、 vhf-2560 、 vhf-35162 ；   icp generator:icp-1kw 、 icp-1.5kw 、 icp-1.6kw 、 icp-2kw ； 

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