选航空用的TC4、TA7钛合金，试件制成圆盘状，尺寸为40*5mm，所有试件表面均抛光至镜面.
2） 离子注入条件
两种钛合金都分别采用两种注入方案：
①
在TC4及TA7钛合金试件上溅射镀Ti，Ti膜总厚度为540nm(5400A).在镀Ti膜过程中，同时用(N+
+N+2)进行动态反冲注入，束流能量为50keV，束流密度为45μA/cm2，剂量为7*1017/cm2，靶室真空度为1.33*10-2Pa；
②
在①的基础上，再注入C+，束流能量为40keV，剂量为3*1017/cm2.
表1 显微硬度测量结果
材料 表面状态 显微硬度/MPa
硬度提高倍数
未注入 2690 0
TC4 注入(N+ +N+2) 6399
1.38
注入(N+ +N+2)+C+ 3436
0.28
未注入 3133 0
TA7 注入(N+ +N+2) 4276
0.36
注入(N+ +N+2)+C+ 4073
0.30
从表1看出，离子注入后，试件的显微硬度都有不同程度的提高，其中TC4钛合金注入(N+
+N+2)混合束后硬度约提高1.4倍.
●TC4 热膨胀系数：
TC4钛合金具有优良的耐蚀性、小的密度、高的比强度及较好的韧性和焊接性等一系列优点，在航空航天、石油化工、造船、汽车，医药等部门都得到成功的应用。
●TC4钛合金力学性能：
抗拉强度σb/MPa≥895,规定残余伸长应力σr0.2/MPa≥825,伸长率δ5(%)≥10,断面收缩率ψ(%)≥25
●TC4钛合金密度:
4.5（g/cm3）工作温度-100～550（℃）
●TC4钛合金化学成分:
TC4含钛(Ti)
余量,铁(Fe)≤0.30,碳(C)≤0.10,氮(N)≤0.05,氢(H)≤0.015,氧(O)≤0.20,铝(Al)5.5～6.8,钒(V)3.5～4.5
