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分子泵的维修  

分子泵的保养与维修  分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用，特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知，分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高，所以分子泵的保养显得十分重要，能够自己维修的话，可以节约大量的成本，降低维修成本。下面的是一些关于分子泵的保养维修的基本资料，希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构  1．高真空接口 2．前级真空接口 3．冷却水连接 4．排气接口 5．电气连接 6．橡胶底座10．转子 10 a．转子中心毂 14．安装螺帽 16．USIT接头  58．螺丝 59螺帽 60．球型轴承 61．半径方向防震垫圈63．轴向防震垫圈 64．电视单元65．0-圈72．0-圈 73．0- 圈80．锁紧著81．0-圈82．润滑油包83．0-圈84．油包安装环 .

弹性柱销联轴器(图2)，结构简单，安装方便，更换容易，传递扭矩大，广泛用于各种旋转泵中，其Zui大扭矩为mN?8316，Zui大轴径200mm。

3.膜片联轴器(图1-6)，结构简单，抗高温，抗不对中性好，可靠性高，传动扭矩大，但价格较高，其Zui大扭矩为mN??5 102，Zui大轴径360mm。