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分子增压泵压缩级的动轮与吸气级完全一样，也是平圆盘，而静轮却有区别，如 图16。压缩级的静轮是在较厚的圆盘上两边开上螺旋槽，两边的螺旋槽方向根据需要可以相同也可以相反，这样每侧的螺旋槽与相邻的动轮也构成了螺旋抽气通道，只不过此时抽气通道四个壁面，三个是静止的，仅一个是运动的，经吸气级压缩过的气体在压缩级已不需太高的抽动系数。如压缩级静轮的螺旋方向与吸气级静轮螺旋方向相反，则可把吸气级压缩至轴心处的气体继续压缩至外圆一侧，如压缩级静轮两侧的螺旋方向相反，则经一侧压缩至轴心（或外圆），另一侧将继续把气体分子压缩至外圆（轴心）。即一个静轮与动轮配合能连续完成两次压缩，分子增压泵巨大的压缩比，便是这些压缩过程叠加作用的结果。由于分子之间的碰撞可以传递动量，所以分子增压泵的拖动作用可以延伸到过渡流。

暴露大气易引起事故   任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。