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等待质谱腔内气压恢复至常压后拆下真空系统与质谱腔体之间的连接管路。注意：如果质谱刚关机内部有负压，一定要先从机械泵与质谱联接的波纹管拆开，将气压恢复至常压后才能拆下连接部件，否则有可能将连接部件的O型圈吸入质谱腔体或分子泵，我们在拆卸时出现过这个问题。