阿尔卡特涡轮分子泵帕纳光电涡轮分子真空泵维修

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒（1升=10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面Zui大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。

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分子涡轮泵属于液质联用仪的核心部件之一，出现故障只能找仪器公司更换，维修的成本非常高昂，本文在实验室在专业维修公司的帮助下修复了分子涡轮泵，并已正常运行一年多时间，希望能为其它用户维修分子泵提供了一点参考与经验。