进口莱宝涡轮分子泵,帕纳光电,磁悬浮涡轮分子泵维

操作要求  4.1.1分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上，以防松弛造成漏气；  4.1.2不能在大气状态下开分子泵，必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀，开启分子 泵；  4.1.3当M2（箱体2）或M7的真空度始终抽不到位时，应检查旋片泵的电磁阀工作是否 正常；  4.1.4在开分子泵前必须打开冷却水阀；在分子泵的叶轮停止运转后，必须关闭冷却水阀； 4.1.5每次停机后，务必清洁各分子泵的进气口处，使其保持干净，以避免不必要的损坏； 4.1.6当出现报警信息“EF”时，应检查冷却水路是否通畅，可用气枪检查。确保水路顺 畅后，方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵，待后处理；  4.1.7在分子泵出现问题而不能使用时，应暂停生产，手动充大气后，更换备用的分子泵； 4.1.8当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常； 4.1.9当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。

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优点

涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。