全新爱发科涡轮分子泵_帕纳光电_涡轮分子真空泵维

分子增压泵压缩级的动轮与吸气级完全一样，也是平圆盘，而静轮却有区别，如 图16。压缩级的静轮是在较厚的圆盘上两边开上螺旋槽，两边的螺旋槽方向根据需要可以相同也可以相反，这样每侧的螺旋槽与相邻的动轮也构成了螺旋抽气通道，只不过此时抽气通道四个壁面，三个是静止的，仅一个是运动的，经吸气级压缩过的气体在压缩级已不需太高的抽动系数。如压缩级静轮的螺旋方向与吸气级静轮螺旋方向相反，则可把吸气级压缩至轴心处的气体继续压缩至外圆一侧，如压缩级静轮两侧的螺旋方向相反，则经一侧压缩至轴心（或外圆），另一侧将继续把气体分子压缩至外圆（轴心）。即一个静轮与动轮配合能连续完成两次压缩，分子增压泵巨大的压缩比，便是这些压缩过程叠加作用的结果。由于分子之间的碰撞可以传递动量，所以分子增压泵的拖动作用可以延伸到过渡流。

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更换轴承

 在分子泵中Zui容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具（真实自己可以加工的）。