真空感应化学气相沉积炉 博科

真空感应化学气相沉积炉是在真空条件或保护气氛下，利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热，石墨坩埚中放入被制备的碳———碳复合材料。在一定真空度下将坩埚加热到规定温度，并通入稀释的碳氢气体。该气体中含碳活性机基团分解后便沉积于材料表面。这样制备的复合材料，其耐磨性将大大增加。本设备适用于化学气相沉积法制备碳——碳复合材料，也可做为硬质合金制品的烧结以及高温石墨化的设备。