SF6气体回收速率,120kg/h;
气室缺压补新气;
抽真空速率64m³/h、205m³/h、500m³/h(依据客户要求);
SF6气体测量:微水、纯度、四氟化碳、一氧化碳、空气、二氧化硫、硫化氢等。