液氯中含碳杂质分析仪
更新时间：2015-06-09 13:46:35 信息编号：3691128 发布者IP：123.171.125.232 浏览：51次
- 供应商
- 滕州赛谱分析仪器有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第12年主体名称：滕州赛谱分析仪器有限公司
- 报价
- 人民币￥32000.00元每套
- 品牌
- 赛谱
- 型号
- 专用
- 关键词
- 液氯中含碳杂质检测仪
- 所在地
- 山东省枣庄滕州市文昌路南段517号
- 联系电话
- 0632-5831177
- 手机号
- 15588237852
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产品详细介绍
液氯是合成三氯氢硅的主要原料之一。液氯中的含碳杂质直接影响到合成三氯氢硅中碳杂质含量,从而影响多晶硅的各项理化指标。检测液氯中的含碳杂质在西门子法制造多晶硅工艺上有着重要的作用及意义。在工业用液氯国家标准GB5138-2006中,主要是对液氯中的水分、氯含量、三氯化氮以及蒸干后的残留物讲述了分析方法,但测量液氯中含碳杂质的报道却很少见,本工作应用气相色谱法采用氢火焰离子检测器测量液氯中含碳杂质的含量。
用气体采样袋采取液氯气化后的气体供气相色谱仪测定。采用不锈钢填充柱分离样品，氢火焰离子化检测器（FID，配镍转化炉），外标法定量。液氯中含碳杂质主要为一氧化碳、甲烷、二氧化碳。3种组分在15min完成分离分析过程。3种组分的体积浓度分别在一定的范围内与其峰面积呈线性关系。
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