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SST系列平面式XY双驱气浮平台 星微科技

更新时间:2017-10-30 10:31:51 信息编号:3603287 发布者IP:218.90.84.97 浏览:228次
供应商
无锡星微科技有限公司 商铺
认证
资质核验:
已通过营业执照认证
入驻顺企:
10
主体名称:
无锡星微科技有限公司
组织机构代码:
91320214330966457E
报价
人民币¥1.00元每套
品牌
星微
型号
SST
400
400
关键词
气浮定位台,直线电机平台,精密运动平台,气浮转台
所在地
无锡新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园F7-301
联系电话
0510-68501337
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产品详细介绍

产品说明:

ⅰ:标准产品scanstep-t400

   sst系列运动平台是星微科技持续在材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果,我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统,同时是我们有着在迎接未来的挑战中保持领先的技术能力sst气浮平台能满足在电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

    传统的平面式xy双驱气浮平台都采用双气浮导向导轨的形式,空气轴承的精度比滚动轴承高两个数量级,具有精度高、摩擦低、可以在极限工作环境下工作等等有点,而气浮导轨具有高承载力、高刚度、高速度、高精度、无摩擦、无污染等优点,双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的精度以及导轨之间的平行度要求极高,并且该结构形式对环境恒温要求也很高;sst系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式t型气浮结构设计,t型结构具有机械安装调试简单,对环境的恒温要求低,便于集成到客户产品当中。

    sst系列运动平台采用u型槽式直线电机驱动,这种电机结构简单,定位精度高,反应速度快、灵敏度高,随动性好,可以实现无接触传递力,机械摩擦损耗几乎为零,所以故障少,免维修,因而工作安全可靠、寿命长,结合高分辨率海德汉光栅尺以及改进的模糊pid闭环智能控制技术,通过调整控制器中速度环参数,并在位置环中加入微分控制来改善系统的阻尼,从而提高平台的性能。在速度环中采用极点配置并加入适当的前馈补偿,使平台达到很高的加速度和定位精度。 

    凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化,非接触的气浮轴承的应用与磁预载的结构,实现无摩擦的平滑运动,使sst系统运动平台达到微米~纳米的定位精度及重复定位精度。abls系列运动平台加速度可以达到2g,速度500mm/s,精度0.5um。 

ⅱ:产品技术

◆平面xy运动气浮平台

◆花岗岩基座、紧凑式整体

◆集成式压力、真空气浮元件

◆scanstep-t400气浮平台主要应用于需要高精度、高重复性和高产出率的系统。

ⅲ:关键性指标

◆行程:400mm& 400mm

◆加速度:1g-x轴、2g-y轴

◆速度:500mm/s

◆重复性:±40nm

◆精度:0.5um(直线编码器)

◆小于0.1%的速度纹波

◆settling time(±100nm):<100ms

◆自然频率:100hz

ⅳ:应用领域

◆科研                        

◆激光加工制造                        

◆半导体制造、检测

◆工业制造

◆电子零件生产、组装

◆平面显示器制造、检验

相关产品:气浮定位台 , 直线电机平台 , 精密运动平台 , 气浮转台
所属分类:中国机械设备网 / 电子制造设备配附件
本页链接:http://product.11467.com/info/3603287.htm
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