




二、设备主要参数
低温手套箱闪蒸成膜仪 | |
设备型号 | WD-VFE10C |
整机尺寸 | 约250mm(W)*320(D)*246mm(H) |
整机重量 | 约15Kg |
电源输入 | AC220V,150W |
真空检测 | 皮拉尼真空计 |
基片尺寸 | 100*100mm以内基片 Zui大可放置厚度15mm样品 |
抽气速度 | 10s可到10Pa以下 |
样品台大小 | 130x130mm |
抽气接口 | 设备后面出口KF25接口 |
进气接口 | 破真空气路6mm快插接口 |
操作系统 | 5寸彩色触摸屏, 可根据需求选择快抽或恒压模式 |
真空泵 | 鲍斯真空DRV40,30m3/h抽速 三相供电,功率1.5kW |
真空泵尺寸 | 约687mm(D)*200mm(W)*312mm(H) |
真空泵重量 | 约50Kg |
排气过滤 | 提供尾排支架及软管 客户端需自行接入实验室尾排系统 |

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