型号 | 50P | 规格 | S-GRJ |
材质 | 纳米级二氧化硅 | 粒度 | 5-120nm |
适用范围 | 超精密基材表面研磨抛光 |
超精密加工是为适应大规模集成电路、激光和航天等技术需要而发展起来的精度极高的一种表面加工技术。cmp机械化学抛光作为其中一项重要内容,正在不断取得新的进展。在机械和化学共同作用下,使得半导体工件表面快速高效的平滑化。表面加工粗糙度达1nm。二氧化硅胶体作为软质磨料,组成的抛光液流动性好、粘度低、热稳定性好,在酸性和碱性条件下均能取得良好效果。
本公司长期从事纳米级材料生产和研发,拥有先进的生产工艺各检测手段,制造的纳米级抛光材料质量稳定、纯度高。可为广大顾客提供5-100纳米的颗粒直径、浓度10-50%的二氧化抛光液。该系列产品广泛应用于晶片、半导体、蓝宝石、光学镜片等材料表面精密化加工。
纳米二氧化硅胶体抛光液主要用途
品名 |
特点 |
用途 |
说明 |
x10 |
5-6nm |
晶片、宝石、镜片 |
极小粒子、精细抛光 |
p20 |
20-30nm |
半导体、光学镜片、蓝宝石 |
粗抛、中等去除率 |
p50 |
40-60nm |
晶片、宝石、镜片 |
粗抛、中等去除率 |
p80 |
60-80nm |
半导体、光学镜片、蓝宝石 |
粗抛、中等去除率 |
p100 |
80-100nm |
半导体、光学镜片、蓝宝石 |
粗抛、更高去除率 |
纳米二氧化硅胶体抛光液主要参数
型号 |
粒径分布 |
含量 |
粘度 |
ph |
p—10 |
8—15nm |
15—30% |
≤25cp |
10.0 |
p—20 |
20—30nm |
30—40% |
≤25 |
3.0 / 10.0 |
p—50 |
40—60nm |
30—50% |
≤10 |
3.0 / 10.0 |
p—80 |
60—80nm |
30—50% |
≤10 |
3.0 / 10.0 |
p—100 |
80—100nm |
30—50% |
≤10 |
3.0 / 10.0 |
抛光过程受压力、速度、温度、抛光液浓度、粒度、流速等多重因素影响。温度的上升只对化学作用力产生加速作用。碱性二氧化硅抛光液可直接对非金属基材如半导体、玻璃、蓝宝石等直接进得抛光,即可达到良好的效果,ph在10-11之间;而对于金属基材则使用酸性抛光液,同时添加1%的氧化剂如h2o2,可提高抛光速率,ph在4左右为佳。
以上产品含量可选择20-50%,客户可根据自身要求添加5%koh溶液调节ph值或5%hcl溶液进行调节,同时可用纯净水稀释到所需的比例。
保质期:1年