德国NanoFocus量身定制的共聚焦测量系统

 简单介绍

μsurf custom量身定制的测量系统  的详细介绍

      μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合ccd的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更量测物体高度，建立3d立体影像，优势相当明显。 

量身定制的测量系统 
      nanofocus可提供µsurf custom以满足客户的具体要求。采用了模块化设计，丰富的硬件与软件可以由客户选择。归功于模块化设计，测量系统可满足不同的测量任务和自动化需求，测量方便、准确。usurf custom是自动化质量控制的保证，在研究实验室和生产环境有广泛的应用。
      μsurf custom量身定制的测量系统可在同一台机器上搭配基于不同技术的多种传感器以满足不同的测量需求，根据测量需求及应用，我们可为您配备的传感器，同样，为了保证Zui高舒适级别的用户体验，所有的传感器控制都集成在同一软件中。 


应用 
μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3d表面形貌、2d的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等; 
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等 
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等 
半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计 
太阳能：太阳能电池片栅线的3d形貌表征、高宽比测量，制绒后3d形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等 
纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量 
led：用于蓝宝石衬底的测量，抽检pss icp后的wafer的3d形貌 

技术参数 
led光源：λ= 505 nm, mtbf: 50,000 h 
测量时间：2~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦 
x/y方向：平台移动范围：100mmx100mm/200mmx200mm/300mmx300mm(大小可选)，马达驱动，x/y方向分辨率：0.3μm 
z方向测量范围：350μm，z方向分辨率：< 1nm 
物镜：10x、20x、50x、100x(可选) 
离轴摄像头(10x)，Zui大视野8 x 6 mm2(选配) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能 
配有专业工作台：尺寸1550x800x750 mm (lxwxh) 
工作电源：100-240v, 50-60hz，input: 550 va 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
重量：约150kg+80kg 
洁净室等级: capability class 6 (according to din en iso 14644)